富士通、メンターのDFMツール「Calibre LFD」を採用〜65nmプロセス向け「LFDキット」を共同開発
2007年5月29日、メンター・グラフィックス社は、富士通が同社のDFMツール「Calibre LFD」を採用した事を発表した。プレスリリース
メンターの発表によると富士通は、社内の製品開発におけるDFMの強化と、社外ファブレス顧客に向けたDFMソリューションの強化、2つの目的を視野に「Calibre LFD」を採用。更に「Calibre LFD」を使った正確な露光プロセスのモデリングを可能にするため、メンターと共同で自社65nmプロセス向けの「LFDキット」を開発し、DRCキットと同じように提供している。
この「LFDキット」により、「DRCクリーン」なサインオフと同様に「LFDクリーン」なサインオフを達成することが可能となり、社内の設計者に限らず外部のファブレス顧客もデザインにホットスポットが含まれていないことを確認できるようになる。
「Calibre LFD」は、プロセスの変動をとらえてレイアウトの確実性を高めることができるツールで、レイアウト設計者が設計の早い段階で、特定のリソグラフィック・プロセス・ウィンドウ下でどのようにレイアウトが描画されるかを確認することが可能。
具体的には、ファウンドリやファブから提供される「LFD」キットを用いたシミュレーションと、プロセス変動に対する設計の耐性計算によって描画の可能性を判別する仕組みで、異なるレイアウトを比較し、プロセス変動の影響を受けにくい設計のトレードオフを判断することができる。
※「Calibre LFD」に関する詳細は、メンター・グラフィックス・ジャパン株式会社にお問い合わせ下さい。
※記事提供：EDA Express
