発表によると両社のコラボレーションは、高精度な45nm以下のマスク検査を実現し、イールドの改善を狙うもので、先日発表されたばかりのKLAの新製品「TeraScanHR」とClear Shapeの「InShape」および「OutPerform」が用いられる。※関連情報： ★米KLA-Tencor、4…