2010-04-15 2010年4月14日、「design-for-e-beam (DFEB) 技術」の普及・促進を目標としたフォーラムeBeam Initiativeは、パシフィコ横浜で開催中のPhotomask Japan 2010において、イニシアチブメンバーによる最近の技術成果を発表した。 EDA関連ニュース http://www.eda-express.com/2010/04/ebeam-initiatived2s22nmdfeb.html